[发明专利]透射电镜试样及其制备方法、待测结构的失效分析方法有效
| 申请号： | 202010981628.X | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112179927B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 郭伟 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N23/20008 | 分类号： | G01N23/20008;G01N23/04 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 李路遥;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种透射电镜试样及其制备方法、待测结构的失效分析方法，其中，所述透射电镜试样的制备方法包括：在待测结构中确定测试区域；在测试区域中确定待分析结构和待去除结构，所述待分析结构沿第一方向的两端分别与所述测试区域的边缘具有第一预设距离，所述待去除结构位于所述待分析结构沿第二方向的投影区域内，所述待分析结构朝向所述第二方向的侧面与所述待去除结构接触，所述第一方向与所述第二方向之间的夹角大于0°且小于180°；去除所述待去除结构，并保留在第一方向上位于所述待去除结构两侧的至少部分所述测试区域作为支撑结构，得到透射电镜试样，其中，所述支撑结构与所述待分析结构形成一体成型的至少一个U型支架。 | ||
| 搜索关键词： | 透射 试样 及其 制备 方法 结构 失效 分析 | ||
【主权项】：
暂无信息
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