[发明专利]连续直拉单晶棒工艺在审
| 申请号： | 202010983585.9 | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112048758A | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 陈五奎;陈昊;陈嘉豪;陈辉 | 申请（专利权）人： | 乐山新天源太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人： | 李玉兴 |
| 地址： | 614000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种能够实现单晶硅棒连续成晶，保证硅棒品质的连续直拉单晶棒工艺。该连续直拉单晶棒工艺采用连续直拉单晶炉，还包括以下步骤：S1、向双层坩埚的内层坩埚筒内添加硅料；S2、通过惰性气体进口通入惰性气体，然后由惰性气体吸气口吸出惰性气体；S3、通过石墨加热托盘、加热电阻实现对双层坩埚的加热；S4、通过拉伸装置对单晶硅棒进行拉伸成形；同时通过所述硅料加料装置向外层坩埚内添加颗粒硅料；S5、保证炉内的压力，保证炉体内的温度；S6、通过拉伸装置实现单晶硅的连续直拉。采用该连续直拉单晶棒工艺能够提高拉晶速度，增加硅棒单位时间产出，有效的降低产能，提高成晶率。 | ||
| 搜索关键词： | 连续 直拉单晶棒 工艺 | ||
【主权项】：
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