[发明专利]一种基于机械超材料结构的压力传感器有效
| 申请号： | 202010984276.3 | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112284580B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 李维平;兰之康 | 申请（专利权）人： | 南京高华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 210046 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于机械超材料结构的压力传感器，包括：基板、以及设置在基板上的压力感应单元、至少一个热驱动单元、应变感应单元、锚点组以及引线组，应变感应单元包括机械超材料结构和应变敏感薄膜，其中，压力感应单元通过引线组、锚点组与至少一个热驱动单元电连接形成电流通路，并且，在电流通路中的电流发生变化时，热驱动单元能够产生单一方向的应变，机械超材料结构与各热驱动单元连接，以将单一方向的应变转换为多方向的应变，应变敏感薄膜与机械超材料结构电连接，以根据多方向的应变输出电阻值，通过检测电阻值，实现对压力的测量，进而提高了压力传感器对压力的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 机械 材料 结构 压力传感器 | ||
【主权项】：
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