[发明专利]标记位置确定方法、光刻方法、制造物品的方法、存储器介质和光刻装置在审
| 申请号： | 202010986241.3 | 申请日： | 2020-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN112526835A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 江头信一 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G01B11/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 宋岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了标记位置确定方法、光刻方法、制造物品的方法、存储器介质和光刻装置。确定标记位置的方法包括：基于通过使用捕获标记的图像的观测仪获取的图像上的标记图像的位置来确定标记图像的临时位置；基于指示观测仪的畸变量的二维分布的畸变图和标记图像来确定用于校正临时位置的校正量；并且通过基于校正量对临时位置进行校正来确定标记的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 标记 位置 确定 方法 光刻 制造 物品 存储器 介质 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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