[发明专利]无热阵列波导光栅有效
| 申请号： | 202010986581.6 | 申请日： | 2020-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN112068244B | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 杨忠华;李智慧;何来胜;梁宇鑫;崔乃迪 | 申请（专利权）人： | 联合微电子中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 401332 重庆市沙坪*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明提供一种无热阵列波导光栅，在阵列波导中，相邻的阵列波导具有不同的波导长度，对应的相邻的阵列波导具有不同的波导宽度，且阵列波导的波导宽度随阵列波导的波导长度的增加而减小，通过改变阵列波导的波导宽度，实现阵列波导光栅的无热化，无需外部供能，就能维持较好的温度稳定性，是一种无源器件，可以极大的降低系统维护成本；设计和工艺简单，无需后处理工艺，能适应大规模量产及商业化，且性能稳定；具有良好的工艺兼容，可采用标准的CMOS加工；能够实现多通道数的波分复用。本发明的无热阵列波导光栅在整体上保证相邻阵列波导的光程差固定的前提下，可实现中心波长温度不敏感。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 波导 光栅 | ||
【主权项】：
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