[发明专利]一种通过微波等离子体采用碳化硼制备金刚石的方法

摘要

本发明提供了一种通过微波等离子体采用碳化硼制备金刚石的方法，上述方法包括：预处理步骤：提供衬底，将固态碳化硼颗粒均匀放置在上述衬底周围，并放入微波等离子体反应室中；形核步骤：采用第一工艺参数组合产生等离子体轰击上述固态碳化硼颗粒，以使金刚石在上述衬底表面形核；以及生长步骤：采用第二工艺参数组合产生等离子体轰击上述固态碳化硼颗粒，以在上述衬底表面生成掺硼的金刚石；其中上述第一工艺参数组合不同于上述第二工艺参数组合。本发明还提供了根据上述方法所制备的掺硼的金刚石。本发明所提供的方法采用廉价、安全的碳化硼制备掺硼金刚石，降低工艺成本，提高工艺安全。所制备的掺硼的金刚石质地均匀，性能良好，应用广泛。