[发明专利]一种基于液态金属的物理锁存MEMS开关有效
| 申请号： | 202010989266.9 | 申请日： | 2020-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN112259413B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 胡腾江;曹彤彤;赵玉龙;王柯心 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | H01H37/04 | 分类号： | H01H37/04;H01H37/72;B81B3/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种基于液态金属的物理锁存MEMS开关，采用电热驱动的原理，包括盖板、金属液滴和开关驱动装置，盖板以玻璃为基底其上制作有SU8胶结构，金属液滴封装在在盖板的套筒和驱动装置的储液槽之间，盖板和开关驱动装置涂胶结合在一起；开关的固定电极与金属液滴始终保持接触，可动电极可在电热效应下产生直线位移与金属液滴接触或分离，从而使开关电路导通或断开；驱动装置设计有物理锁存结构，通过限位杆和楔形滑块的时序动作和配合可实现开关的锁定和解锁；本发明具有导通状态稳定、接触电阻低、功耗低和环保等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 液态 金属 物理 mems 开关 | ||
【主权项】：
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