[发明专利]晶片清洗夹持装置

摘要

本发明提供了一种晶片清洗夹持装置，其包括：安装头、位置调节板和角度调节组件。安装头安装晶片。位置调节板连接于安装头，且位置调节板用于调节晶片相对冲水口的冲水位置。角度调节组件连接于位置调节板，且角度调节组件用于调节晶片相对冲水口的冲水角度。由于安装头可通过位置调节板调整安装头相对冲水口的位置、通过角度调节组件调整安装头相对冲水口的角度，则本申请的晶片清洗夹持装置能够实现对晶片相对冲水口的位置和角度的快速调整、并保证冲水口能够始终以最佳的角度和位置对不同类型或不同尺寸的晶片进行冲洗，从而使得晶片能够达到最佳的冲水效果，由此减少了因冲水问题导致的晶片表面问题，提高了晶片冲水效率和晶片表面质量。