[发明专利]一种可拉伸半导体器件的制备方法有效
| 申请号： | 202010991589.1 | 申请日： | 2020-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN112271257B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 张敏;黄巍宏;焦浩轩;黄秋月;张娇娜 | 申请（专利权）人： | 北京大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | H01L51/10 | 分类号： | H01L51/10;H01L51/05;H01L51/40;H01L51/30 |
| 代理公司： | 北京祯新珵艺知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 16110 | 代理人： | 沈超 |
| 地址： | 518071 广东省深圳市南山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种可拉伸半导体器件的制备方法，包括：在基板上形成基板牺牲层；在基板牺牲层上形成衬底；在衬底上形成第一电极牺牲层；在第一电极牺牲层上形成第一电极；去除第一电极牺牲层；在第一电极上形成介电层；在介电层上形成第二电极牺牲层；在第二电极牺牲层上形成第二电极和第三电极；在第二电极之间形成沟道层；去除第二电极牺牲层。本发明进一步包括另一种可拉伸半导体器件的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 拉伸 半导体器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
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