[发明专利]基于表面等离激元共振的尘埃粒子探测系统

摘要

本发明涉及尘埃粒子探测领域，具体涉及基于表面等离激元共振的尘埃粒子探测系统。通过将透明管道的两端分别与进气管和出气管连接，其中，透明管道为透明材料，传感部倾斜设置在透明管道内部，光源和探测器分别垂直设置于透明管道位置的两侧；当需要探测气体中的尘埃粒子时，将待检测气体从进气管输送进探测系统，经过传感部时，气体中的尘埃粒子会粘附在传感部上，光源发射的连续光谱激光通过透明管道后，照射到传感部，粘附在传感部的尘埃粒子在光的照射下会发生散射，并且产生沿着金属薄膜的表面等离激元共振，透射光最终被探测器接收，通过透射光的变化与尘埃粒子的大小与数量的对应关系，准确的得到尘埃粒子的大小和数量。