[发明专利]粒子束照射装置在审
| 申请号： | 202010993810.7 | 申请日： | 2020-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN112635278A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 麻生拓笃;满欣;佐藤诚;麻畑达也 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/244;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄志坚;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供粒子束照射装置，进行基于多个检测器的观察时，能缩短多个检测器的亮度调整的时间。粒子束照射装置具有照射粒子束的照射部、检测第1粒子的第1检测部、检测第2粒子的第2检测部、像形成部和控制部，像形成部进行如下处理：形成基于第1检测部检测到第1粒子的第1信号的观察像；形成基于第2检测部检测到第2粒子的第2信号的观察像，控制部进行如下处理：计算形成的第1观察像的第1区域的亮度，第1区域的亮度与第1目标亮度不同时，根据第1目标亮度进行第1检测部的亮度调整作为第1亮度调整；计算形成的第2观察像的第2区域的亮度，第2区域的亮度与第2目标亮度不同时，根据第2目标亮度进行第2检测部的亮度调整作为第2亮度调整。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子束 照射 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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