[发明专利]零差激光干涉仪直流偏置误差修正方法及装置在审

专利信息
申请号: 202010994340.6 申请日: 2020-09-21
公开(公告)号: CN112284246A 公开(公告)日: 2021-01-29
发明(设计)人: 付海金;王铮;王珂;胡鹏程 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: G01B9/02 分类号: G01B9/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 零差激光干涉仪直流偏置误差修正方法与装置属于激光测量技术领域;本发明在不需要改变系统原有光学器件位置的前提下,通过改变沃拉斯顿棱镜慢轴与x轴的角度,抑制了等效反射率的变化对合成干涉信号中直流偏置误差的影响,进而在等效反射率有较大变化的实际测量中,直流偏置误差可以被更方便的校正。本发明能够有效解决零差激光干涉测量中直流偏置误差的修正问题,在精密测量领域具有显著的技术优势。
搜索关键词: 激光 干涉仪 直流 偏置 误差 修正 方法 装置
【主权项】:
暂无信息
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