[发明专利]一种水气分离装置和化学机械抛光系统在审
| 申请号： | 202010994573.6 | 申请日： | 2020-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN112090217A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 吴兴;许振杰 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/00 | 分类号： | B01D50/00;B01D53/26;H01L21/67;B24B37/34;B24B55/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天津市津*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种水气分离装置和化学机械抛光系统，所述水气分离装置包括壳体，所述壳体为矩形槽结构，其内部配置有竖直设置的隔板，所述隔板将矩形槽结构分割为底部相通的第一腔室和第二腔室；所述壳体的顶板配置有废液入口，其与所述第一腔室相连通，所述壳体的底板配置有废液出口；所述壳体还配置有废气出口，其与所述第二腔室连通；废液经由所述废液入口进入所述第一腔室并由所述废液出口排出，废气和/或废液产生的废气经由第一腔室进入所述第二腔室并由所述废气出口排出；所述第二腔室的内部设置有网板，以阻挡废液产生的泡沫液经由所述废气出口排出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水气 分离 装置 化学 机械抛光 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华海清科股份有限公司，未经华海清科股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010994573.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种船舶内壳板材优化设计方法
- 下一篇：一种智能控制网络设备
