[发明专利]一种提高PERC电池开压的热氧化工艺方法及得到的PERC电池片

摘要

本发明涉及一种提高PERC电池开压的热氧化工艺方法及得到的电池片。所述方法包括：将硅片依次进行第一热氧化和第二热氧化的过程，第一热氧化的温度第二热氧化的温度。本发明所述方法采用两步通氧的热氧化工艺，在第一热氧化温度下通入第一步氧气，使在氧化过程中硅片表面生成的Si‑SiO2界面之间过渡层中的硅原子的悬挂键基本被消除，从而提高少子寿命，但是由于氧化产生的自间隙硅原子太多，它们在硅片体内的原生氧沉淀或者其他缺陷处会生成一些二次缺陷，所以在第二热氧化温度(第一热氧化的温度第二热氧化的温度)状态下通入第二步通氧进行再次表面钝化，从而使得开压提升可达2mV以上，转换效率提高可达0.05％以上。