[发明专利]一种改善反向恢复特性的超结MOSFET有效
申请号: | 202010994816.6 | 申请日: | 2020-09-21 |
公开(公告)号: | CN111969062B | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
发明(设计)人: | 郑崇芝;吴毅;夏云;孙瑞泽;刘超;陈万军;张波 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78 |
代理公司: | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人: | 孙一峰 |
地址: | 611731 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明涉及功率半导体技术,涉及一种改善反向恢复特性的超结MOSFET。相对于传统的MOSFET,本发明在P型漂移区和N型漂移区中间引入绝缘介质,同时将P型阱区分隔为位于N型漂移区上的第一P型阱区和位于P型漂移区上的第二P型阱区两个部分。第一P型阱区与源极金属形成肖特基接触。在第二P型阱区内引入一个平面N型MOSFET,器件的N+源区通过一个浮空金属连接到平面N型MOSFET的漏极。N型MOSFET的源极作为本发明器件的源极,而其栅极与本发明器件栅极相连接。器件反向导通时,由于肖特基二极管处于反偏状态,因此与其相连接的N型漂移区一侧体二极管不导通,只有P型漂移区一侧体二极管导通,因此反向导通时漂移区内存储的电荷减少。本发明改善了器件反向恢复特性。 | ||
搜索关键词: | 一种 改善 反向 恢复 特性 mosfet | ||
【主权项】:
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