[发明专利]一种滑片检测装置和化学机械抛光系统在审
| 申请号： | 202010995537.1 | 申请日： | 2020-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN112059914A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 吴兴;许振杰 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B49/12 | 分类号： | B24B49/12;B24B37/34;B24B37/20;B24B37/30;B24B37/005 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天津市津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种滑片检测装置和化学机械抛光系统，所述滑片检测装置包括激光发射器、光纤接收器和控制器；所述激光发射器和光纤接收器设置于V形支架，所述V形支架朝向抛光垫设置，所述激光发射器朝向抛光垫发射激光，光纤接收器接收反射的激光并将其转化为电信号；所述控制器根据光纤接收器的电信号判定是否有晶圆自承载头滑出；所述激光发射器和光纤接收器相对于抛光垫倾斜设置，使得附着于其上的液滴滑落而不封堵激光发射和/或接收的路径。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 装置 化学 机械抛光 系统 | ||
【主权项】：
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