[发明专利]一种混合式热驱动波前改正装置有效
| 申请号： | 202010996551.3 | 申请日： | 2020-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN112068307B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 安其昌;张景旭;李洪文;刘炎森 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B26/06 | 分类号： | G02B26/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 尹君君 |
| 地址： | 130033 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种混合式热驱动波前改正装置，包括：切向加热片、热驱动促动器和力矩方向保持机构，切向加热片位于镜面下方，镜面边缘底部设有多个热驱动促动器和力矩方向保持机构，热驱动促动器用于对镜面施加边缘力矩，切向加热片用于对镜面施加切向力，力矩方向保持机构用于支撑镜面。本发明通过无移动部件，即可实现样本的大范围无色散波前像散校正，对光路中由于光瞳照明不均匀的补偿与光路对准误差；此外还具有刚度高、电磁兼容性好的特点，可以用于更加极端的环境，其次降低了支撑的复杂程度，提高了镜体的比刚度。另外不需要高压运放电路，同时基于热量传导，可以较长时间的保持，降低对波前探测系统的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 混合式 驱动 改正 装置 | ||
【主权项】：
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