[发明专利]一种适用于高频电刀的疏水性硬质涂层及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202010996873.8 申请日: 2020-09-21
公开(公告)号: CN112144021B 公开(公告)日: 2022-05-13
发明(设计)人: 马洋;陈超;康强 申请(专利权)人: 宁波云涂科技有限公司
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32;C23C14/16;C23C14/35;C23C14/06
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 李红霖
地址: 315191 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种适用于高频电刀的疏水性硬质涂层及其制备方法,属于疏水涂层领域。本发明的制备方法,包括:(1)以高频电刀为基体,采用多弧离子镀溅射Cr靶,在所述基体上沉积Cr层;(2)采用多弧离子镀溅射Cr靶、TiAl靶,溅射离子与溅射腔体内的N2反应,在Cr层上沉积CrTiAlN,同时采用射频磁控溅射PTFE靶,得到共溅射的CrTiAlN‑PTFE涂层,共溅射完成后得到适用于高频电刀的疏水性硬质涂层。发明的制备方法,采用多弧离子镀和磁控溅射复合设备进行涂层沉积,能够充分发挥两种两种物理气相沉积方法的优势:多弧离子镀制备涂层沉积速率快,结合力强;磁控溅射可制备非金属涂层,涂层致密均匀。
搜索关键词: 一种 适用于 高频 疏水 硬质 涂层 及其 制备 方法
【主权项】:
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