[发明专利]一种快速准确测定氧化镓单晶晶轴取向的方法有效
| 申请号： | 202010997737.0 | 申请日： | 2020-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN112394073B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 陈政委;吴忠亮;范钦明 | 申请（专利权）人： | 北京铭镓半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/20008 | 分类号： | G01N23/20008;G01N23/20025;G01N23/20016;G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 张瑞雪 |
| 地址： | 101300 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及氧化镓单晶加工的技术领域，具体公开了一种快速准确测定氧化镓单晶晶轴取向的方法，方法包括以下步骤：S1、初步判断(010)晶面方向；S2、切割初始(010)晶面得S2.1氧化镓晶片；S3、X射线衍射仪测定初始(010)晶面偏角；S4、精确切割(010）晶面，得S4.1氧化镓晶片；S5、解理法确定S2.1氧化镓晶片的(100)和(001)晶面；S6、根据S2.1氧化镓晶片的(100)和(001)晶面的迹线，确定[010]晶轴方向；S7、利用X射线定向仪确定S2.1氧化镓晶片的[001]和[100]晶轴的方向。本申请的方法具有快速准确地测定未知任何晶体方向的氧化镓晶轴取向的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 准确 测定 氧化 镓单晶 晶轴 取向 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京铭镓半导体有限公司，未经北京铭镓半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010997737.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种蒸汽发生器及洗碗机的蒸汽洗方法
- 下一篇：新风系统
