[发明专利]一种具有微纳米结构的硬质疏水涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 202010997898.X | 申请日： | 2020-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN112159955B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 张星翔;马洋;张颖 | 申请（专利权）人： | 宁波云涂科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/16;C23C14/32;C23C14/58;B29C33/56 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 李红霖 |
| 地址： | 315191 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有微纳米结构的硬质疏水涂层及其制备方法，涉及疏水涂层领域。本发明的制备方法，采用带有离子束辅助装置的多弧离子镀设备依次沉积Cr层和CrTiAlN层，之后使用中能碳离子束进行照射，刻蚀的同时碳离子也会注入到CrTiAlN层内部，形成的CrTiAlCN金属碳化物，金属碳化物具有比其氮化物更高的硬度，进一步提高整个涂层的硬度和耐磨性；中能碳离子束处理之后得到的CrTiAlCN，在保留CrTiAlN膜层硬质耐磨性的基础上，进一步提高了其疏水性；碳还具有良好的减摩自润滑性能，降低涂层表面磨损和高分子材料粘附；本发明的制备方法，工艺简单，能够直接应用于工业大规模生成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 纳米 结构 硬质 疏水 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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