[发明专利]一种边界条件可调的腔室及长晶炉在审
| 申请号： | 202010999395.6 | 申请日： | 2020-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN112501693A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 李辉;毛瑞川;杨茜 | 申请（专利权）人： | 南京晶升能源设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B35/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 张弛 |
| 地址： | 211113 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种边界条件可调的腔室，包括石英管、坩埚、围绕石英管外围设置的电磁感应线圈、围绕石英管及电磁感应线圈外围设置的水冷罩；所述水冷罩的内层壳体、外层壳体均以隔离电磁辐射的材料制成。本发明提供的腔室采用若干组水冷环对石英管进行边界条件调节，水冷罩能够有效的隔离电磁线圈产生的电磁辐射，并通过调节水冷环中冷却水的流量调整对应的热场温度，构建适合晶体生长的多段温度梯度，从而提高晶体良率，同时也便于长晶工艺的定型。本发明还提供了具有上述腔室的长晶炉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 边界条件 可调 长晶炉 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京晶升能源设备有限公司，未经南京晶升能源设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010999395.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
