[发明专利]一种便于清理的半导体镀膜设备在审
| 申请号： | 202010999666.8 | 申请日： | 2020-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN112176310A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 刘华长 | 申请（专利权）人： | 广州万昌音响有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/44;H01L21/67;B08B1/00;B08B1/04 |
| 代理公司： | 广州粤弘专利代理事务所(普通合伙) 44492 | 代理人： | 王雪镅 |
| 地址： | 510000 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种便于清理的半导体镀膜设备，属于半导体镀膜技术领域，包括设备主体，设备主体的外侧设置有保护罩，保护罩内部的底端活动连接有灰尘收集组件，保护罩内部两侧的中间位置处皆设置有固定杆，两组固定杆相邻的一侧皆活动连接有支撑组件，保护罩内部的顶端安装有第一电磁滑轨。本发明通过电机带动刷毛对固定杆和支撑组件进行清扫，同时刷毛能在保护罩的内部进行前后左右移动，实现对灰尘和碎屑的清扫并滑落至收集板，保证支撑杆表面的干净度，从而不需要人工即可实现对其的清理，降低了工作的难度，提高了镀膜的效率。并可对支撑杆和对支撑杆之间的间距进行调整，使半导体镀膜设备对半导体的支撑范围更为广泛，提高了使用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 便于 清理 半导体 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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