[发明专利]基于全频段光学加工面形误差系统链路像质仿真分析方法有效
| 申请号： | 202011000089.3 | 申请日： | 2020-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN112113513B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 班章;杨勋;李晓波;姜禹希 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01M11/02;G06F30/20 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 朱红玲 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 基于全频段光学加工面形误差系统链路像质仿真分析方法，涉及光电成像技术领域，本发明根据用户指标要求，设计光学系统结构，建立光学系统链路模型，基于实测光学元件加工面形数据，建立镜面加工面形低频误差仿真模型和中高频误差仿真模型。将低频和中高频加工面形误差仿真数据融合，建立全频段光学元件加工面形误差仿真模型，并检测全频段光学元件加工面形误差仿真模型准确性。完成数据准确性检验后，将加工面形误差数据加载至光学链路仿真系统中进行像质分析。本发明设定合理的数据采样间隔。建立准确的加工面形误差仿真模型，为进行高精度、快运算光学系统链路像质仿真分析奠定基础。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 频段 光学 加工 误差 系统 链路像质 仿真 分析 方法 | ||
【主权项】：
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