[发明专利]一种基于步进电机的纳米谐振器振动模式可视化装置在审
| 申请号： | 202011000512.X | 申请日： | 2020-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN112033524A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 莫泽;卢恒;延英;陈风楠 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00;G01H13/00 |
| 代理公司： | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人： | 王利斌 |
| 地址： | 215137 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于光学器件领域，为提高纳米谐振器振动模式的稳定性及测量精度，公开了一种基于步进电机的纳米谐振器振动模式可视化装置，所述纳米谐振器设置于所述真空腔内，所述真空腔置于以步进电机驱动的所述三轴位移台上，所述真空腔的射频端口通过柔性波导与外界激励连接，激励中的直流电压源使二维材料薄膜产生形变，正弦波信号发生器产生的周期性信号使纳米谐振器发生周期性振动，激光入射到器件上，反射的周期性信号被反射光路中的光电探测器所接收，通过Labview程序控制步进电机移动位移台对器件不同位置的振动状态进行表征实现对整个器件的振动模式可视化。本发明提高了纳米谐振器振动模式的稳定性及测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 步进 电机 纳米 谐振器 振动 模式 可视化 装置 | ||
【主权项】：
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