[发明专利]一种用于氦质谱检漏测试系统的氦气浓度检测控制装置在审
申请号: | 202011000820.2 | 申请日: | 2020-09-22 |
公开(公告)号: | CN112461458A | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 李建峰;王英杰 | 申请(专利权)人: | 上海德义机电股份有限公司 |
主分类号: | G01M3/20 | 分类号: | G01M3/20 |
代理公司: | 上海宣宜专利代理事务所(普通合伙) 31288 | 代理人: | 刘洁瑜 |
地址: | 201614 上海市松*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明属于氦质谱检漏测试设备领域,具体公开了一种用于氦质谱检漏测试系统的氦气浓度检测控制装置,包括检测箱,检测箱中部安装氦气浓度检测控制仪,氦气浓度检测控制仪内部集成设置有混合氦气取样阀、稳压控制阀、微流量控制阀、氦气浓度传感器、数据输出模块、进气端口、排气端口、数据显示器、信号放大器、数据处理器、控制触点及控制信号输出端口和电源装置,氦气浓度传感器包括恒温控制结构和传感器本体。本发明可安装在氦质谱检漏测试系统的氦气配气回收装置中使用,并且可以在其它需要检测氦气浓度的系统中使用,自动实时控制系统氦气浓度,测量氦气浓度值准确度高,控制系统氦气配气比例精准,并有效控制系统氦气损耗。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 氦质谱 检漏 测试 系统 氦气 浓度 检测 控制 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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