[发明专利]一种电脑塑壳双层电磁屏蔽层溅镀工艺在审

专利信息
申请号: 202011002018.7 申请日: 2020-09-22
公开(公告)号: CN112251725A 公开(公告)日: 2021-01-22
发明(设计)人: 梁庭;李浩;肖方红;吴宝松;潘志强 申请(专利权)人: 安徽英力电子科技股份有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/20;C23C14/16
代理公司: 合肥市元璟知识产权代理事务所(普通合伙) 34179 代理人: 司志红
地址: 231323 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 一种电脑塑壳双层电磁屏蔽层溅镀工艺。把产品装配至治具;把治具装入设备载具;装配载具上模;溅镀过渡室:过渡室内为负压,病进行除静电除湿处理;溅镀铜靶室:溅射源溅包括电源和溅射枪,溅射枪为磁控溅射枪,磁控溅射枪为圆柱型;溅镀不锈钢靶室:真空至10‑4mbar范围;注入氩气至10‑3bar范围;施以直流电压;溅镀过渡室:过渡室内为负压,病进行除静电除湿处理;下料溅镀OK的产品;测量阻值;包装。本发明改善了溅镀工艺,镀不锈钢前,加镀一层特殊的紫铜镀层,溅镀后镀层附着性好,提高产品良率至99.5%以上。
搜索关键词: 一种 电脑 双层 电磁 屏蔽 层溅镀 工艺
【主权项】:
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