[发明专利]一种电脑塑壳双层电磁屏蔽层溅镀工艺在审
申请号: | 202011002018.7 | 申请日: | 2020-09-22 |
公开(公告)号: | CN112251725A | 公开(公告)日: | 2021-01-22 |
发明(设计)人: | 梁庭;李浩;肖方红;吴宝松;潘志强 | 申请(专利权)人: | 安徽英力电子科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/20;C23C14/16 |
代理公司: | 合肥市元璟知识产权代理事务所(普通合伙) 34179 | 代理人: | 司志红 |
地址: | 231323 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: |
一种电脑塑壳双层电磁屏蔽层溅镀工艺。把产品装配至治具;把治具装入设备载具;装配载具上模;溅镀过渡室:过渡室内为负压,病进行除静电除湿处理;溅镀铜靶室:溅射源溅包括电源和溅射枪,溅射枪为磁控溅射枪,磁控溅射枪为圆柱型;溅镀不锈钢靶室:真空至10 |
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搜索关键词: | 一种 电脑 双层 电磁 屏蔽 层溅镀 工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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