[发明专利]具有声阻层的体声波谐振器及其组件和制造方法、滤波器和电子设备在审
| 申请号： | 202011004189.3 | 申请日： | 2020-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN114257204A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;班圣光;徐洋;杨清瑞;张孟伦 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；压电层；和顶电极，其中：顶电极、压电层、底电极在谐振器的厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域；所述压电层包括第一层和第二层，第一层与第二层之间设置有声阻层，第二层在第一层的上方，所述声阻层的内边缘在水平方向上处于声学镜边界的内侧，所述声阻层的声阻不同于所述压电层的声阻；所述谐振器还包括将所述声阻层与外部相通的通道或开口。本发明还涉及体声波谐振器组件，一种制造体声波谐振器的方法，一种滤波器和一种电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 声阻 声波 谐振器 及其 组件 制造 方法 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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