[发明专利]具有声阻层的体声波谐振器及其组件和制造方法、滤波器和电子设备在审
| 申请号： | 202011004200.6 | 申请日： | 2020-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN114257199A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;班圣光;杨清瑞;张孟伦 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；压电层；和顶电极，其中：压电层包括第一层和第二层，第一层与第二层之间设置有声阻层，第二层在第一层的上方，声阻层的内边缘在水平方向上处于声学镜边界的内侧，声阻层的声阻不同于压电层的声阻，声阻层的外边缘处于压电层内且由压电层限定；在顶电极的非电极连接端，声阻层的外边缘在水平方向上处于顶电极的非电极连接端的外侧，且声阻层的外边缘在水平方向上超出预定边界的超出距离为谐振器的并联谐振阻抗的高值对应的距离，所述预定边界包括顶电极或底电极的非电极连接端的端缘，或声学镜边界。本发明还涉及体声波谐振器组件，一种制造体声波谐振器的方法，一种滤波器和一种电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 声阻 声波 谐振器 及其 组件 制造 方法 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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