[发明专利]一种磁控溅射真空镀膜机

摘要

本发明涉及镀膜设备技术领域，且公开了一种磁控溅射真空镀膜机，包括箱体，所述箱体的上表面固定安装有箱盖，所述箱盖的顶部固定套装有抽真空管。该磁控溅射真空镀膜机，通过抽气管与凸管的配合，在阀门的控制作用下，能够对相对应的凸管进行抽气控制，有效的防止抽气功耗的浪费，在进行更换工件时，对哪一个料架进行抽出时，只需要打开相对应的阀门，就可以将吸力对应到凸管内，不需要将整个设备罩住进行抽气，保证抽气动能功耗保证在最小，降低建造成本，在更换完工件后，将工件推进的过程中，即可将携带的空气抽走，防止空气中携带的灰尘进入到箱体内，对工件镀膜造成影响，工件镀膜后达不到合格标准，保证工件的合格率。