[发明专利]肖特基二极管及其制备方法有效
| 申请号： | 202011005049.8 | 申请日： | 2020-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN111863973B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 赵自然;胡海帆;马旭明;肖雄 | 申请（专利权）人： | 同方威视技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/872 | 分类号： | H01L29/872;H01L21/329;H01L29/06 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 桑敏 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开涉及肖特基二极管及其制备方法。一种肖特基二极管包括：衬底层；位于衬底层上的第一结构和第二结构，其中第一结构与第二结构之间为隔离槽结构，第一结构包括第一主体区和从第一主体区延伸的悬臂梁，第二结构包括第二主体区，并且第二主体区包括位于衬底层上的重掺杂层以及位于重掺杂层上的轻掺杂层；以及肖特基接触结构，该肖特基接触结构包括：接触金属层，位于轻掺杂层上并与悬臂梁的端部相接；以及钝化层，位于轻掺杂层上并且包围接触金属层，其中重掺杂层中对应于接触金属层的位置具有一个或多个区域，这一个或多个区域与轻掺杂层相接并且与轻掺杂层的对应区域在接触界面形成耗尽区。 | ||
| 搜索关键词： | 肖特基 二极管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于同方威视技术股份有限公司，未经同方威视技术股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011005049.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于装料过程中消除液体泡沫的装置
- 下一篇：肖特基二极管及其制备方法
- 同类专利
- 专利分类
