[发明专利]一种用于高分辨力和高精度平面位移测量的二维光栅有效
| 申请号： | 202011005403.7 | 申请日： | 2020-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN112129230B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 于海;万秋华;赵长海 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 李青 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种用于高分辨力和高精度平面位移测量的二维光栅，包括：盘体和编码标线。其中，盘体为镀有不透光镀膜的玻璃材质，或者不透光的金属材质构成；编码标线是一组透光的标线，按照特定的编码排列。以x代表横向维度的编码元，y代表纵向维度的编码元，那么编码标线包括分别代表{x＝0,y＝0}，{x＝1,y＝0}，{x＝1,y＝1}，{x＝0,y＝1}的四种编码标线，所有编码标线的横向间距相同，纵向间距也相等。当采用图像传感器对码盘进行成像，便可以实现对编码值的识别，进而通过译码表获取横向和纵向的位移信息。同时，由于所有编码标线的间距相同，可以方便的通过质心运算实现位移的细分运算。本发明通过与图像识别相配合，可以实现高分辨力、高精度的二维位移测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 分辨力 高精度 平面 位移 测量 二维 光栅 | ||
【主权项】：
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