[发明专利]石英晶体谐振器的电极制备方法、谐振器及振荡器在审

专利信息
申请号: 202011007641.1 申请日: 2020-09-23
公开(公告)号: CN112117980A 公开(公告)日: 2020-12-22
发明(设计)人: 李鹏;郭跃伟;段磊;崔健 申请(专利权)人: 河北博威集成电路有限公司
主分类号: H03H3/02 分类号: H03H3/02;H03H9/13;H03H9/19
代理公司: 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人: 付晓娣
地址: 050051 河北*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明适用于压电晶体元件设计技术领域,提供了一种石英晶体谐振器的电极制备方法、谐振器及振荡器,该方法包括:建立石英晶体谐振器的压电耦合有限元模型;对压电耦合有限元模型进行模态分析,获得对应的B模法向电荷密度分布区域和C模法向电荷密度分布区域;根据B模法向电荷密度分布区域和C模法向电荷密度分布区域,确定石英晶体谐振器中电极对应的C模占优区域;根据C模占优区域制备所述石英晶体谐振器的电极。本发明可以降低石英晶体谐振器的B模压电耦合效率,进而使石英晶体谐振器可以稳定的振荡在C模式下,有利于恒温晶体振荡器的小型化与集成化。
搜索关键词: 石英 晶体 谐振器 电极 制备 方法 振荡器
【主权项】:
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