[发明专利]一种获得单一钛氧终止的绝缘钛酸锶(001)表面的方法在审
| 申请号： | 202011008700.7 | 申请日： | 2020-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN112176415A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 彭海琳;梁艳;周雪涵 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/32 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅 |
| 地址： | 100191 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种获得单一钛氧终止的绝缘钛酸锶(001)表面的方法。该方法包括：将钛酸锶单晶用溶剂超声清洗后置于超高真空腔体中，将所述钛酸锶单晶加热后除气，再继续升温进行退火，退火完毕后降温，降温完毕后保持温度不变通入氧气，通完氧气后继续降温至室温，抽走氧气。该方法可控性好，成功率达百分之百，所获得的表面可以用于外延生长不同的薄膜材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 获得 单一 终止 绝缘 钛酸锶 001 表面 方法 | ||
【主权项】：
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