[发明专利]一种氮化镓衬底材料的抛光液有效
| 申请号： | 202011008767.0 | 申请日： | 2020-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN112126357B | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 潘国顺;陈高攀;罗海梅 | 申请（专利权）人： | 深圳清华大学研究院 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;H01L33/00 |
| 代理公司： | 深圳市壹壹壹知识产权代理事务所(普通合伙) 44521 | 代理人： | 师勇 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种氮化镓衬底材料的抛光液，包括抛光颗粒、腐蚀剂、氧化剂、有序催化剂、分散稳定剂和水，各组分重量百分比含量为：抛光颗粒10～50wt%；腐蚀剂0.1～20wt%；氧化剂0.01～10wt%；有序催化剂0.0001～10wt%；分散稳定剂0.01～10wt%；水余量。本发明在抛光液中添加了有序催化剂，该催化剂通过合成、改性方法制备，其表面具有特殊结构、电子排布、表面基团，在抛光中可以有序吸附在氮化镓表面，从而提高抛光液的去除速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 衬底 材料 抛光 | ||
【主权项】：
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