[发明专利]多频压电式微型超声换能器单元、阵列和方法在审
| 申请号： | 202011011209.X | 申请日： | 2020-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN112452694A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 孙长河;罗明璋;黑创 | 申请（专利权）人： | 长江大学 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 武汉河山金堂专利事务所(普通合伙) 42212 | 代理人： | 胡清堂 |
| 地址： | 434000*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 多频压电式微型超声换能器单元及其阵列，包括：自下向上依次层叠设置的衬底、支撑膜、底电极、压电薄膜和顶电极；其中，所述支撑膜和所述压电薄膜中至少有一个被设计成随厚度变化的结构，且该结构沿厚度方向的截面为阶梯形、三角形、抛物线形或凸台形。其优点是：采用振动薄膜变厚的多频压电式微型超声换能器单元结构设计，可以避免复合模态的形成，增加多频压电式微型超声换能器单元工作时的多频谐波分量，只需要一个多频压电式微型超声换能器单元即可实现对多频超声波的激励。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 式微 超声 换能器 单元 阵列 方法 | ||
【主权项】：
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