[发明专利]一种超薄金属薄膜红外光学常数的表征方法有效
| 申请号： | 202011012332.3 | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN112285063B | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 杨霄;刘华松;刘丹丹;姜玉刚 | 申请（专利权）人： | 天津津航技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55;G01N21/59 |
| 代理公司： | 天津市鼎拓知识产权代理有限公司 12233 | 代理人： | 刘雪娜 |
| 地址： | 300000 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本申请提供有一种超薄金属薄膜红外光学常数的表征方法，其通过制备特殊的超薄金属薄膜光学常数表征样品，增加样品光谱特征，利用薄膜光学常数反演计算方法得到超薄金属薄膜的精确红外光学常数。该方法适用于厚度小于100nm的金、银、铝、铬等常用金属薄膜的精确红外光学常数的表征，为含有超薄金属薄膜材料的红外薄膜的设计与制备提供了重要的技术支撑，该表征方法可获取超薄金属薄膜在红外波段单点或宽带的光学常数，有效解决红外波段金属‑介质薄膜设计中金属膜层参数不准确的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超薄 金属 薄膜 红外 光学 常数 表征 方法 | ||
【主权项】：
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