[发明专利]一种适用于真空环境条件下主动控制的气体静压电主轴在审
| 申请号： | 202011014265.9 | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN114251363A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 于普良;罗强;胡回;夏巨兴;姜庆 | 申请（专利权）人： | 武汉科技大学 |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06;F16F15/03;B23Q1/70;B23B19/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430081 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明专利公开一种适用于真空环境下主动控制的气体静压电主轴，包括轴套、轴颈、止推板、旋转电机、圆光栅编码器、电磁执行器、位移传感器、负载平台、控制器、真空室和真空发生器。其中，上下止推板与主轴呈工字型布局；轴套两端分别设计上真空室和下真空室。控制器根据圆光栅的位移信号控制旋转电机，对轴颈进行旋转位移补偿；轴套上安装两组径向/轴向电磁执行器和传感器；控制器根据径向和轴向位移传感器的位移信号控制电磁执行器，对轴颈的轴向进行补偿。本发明是一种安全可靠，适用于真空环境条件下可主动控制的气体静压电主轴，解决了气体静压电主轴系统气体泄漏导致的真空环境污染问题，实现了气体静压电主轴的高精度和高稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 真空 环境 条件下 主动 控制 气体 静压 主轴 | ||
【主权项】：
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