[发明专利]一种新型碳化铌薄膜用于氢分离及其制备方法在审
| 申请号： | 202011017037.7 | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN112176285A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 李新中;刘京京;李新华 | 申请（专利权）人： | 李新中 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/02;C23C14/35;C01B3/58 |
| 代理公司： | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 | 代理人： | 陈付玉 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种新型碳化铌薄膜用于氢分离及其制备方法，涉及一种新型的氢分离膜及其制备方法。本发明是为了解决现有的V/Pd氢分离膜价格昂贵和高温稳定性差的问题。本发明所述的是碳化铌薄膜在氢分离中的应用，将碳化铌薄膜通过磁控溅射、离子束溅射、电子束蒸发、脉冲沉积、分子束外延或原子层沉积方法沉积到V基体、Nb基体、Ni基体、多孔不锈钢、多孔陶瓷上面，形成碳化铌/X基体复合膜用于氢气提纯，其特征在于，碳化铌作为一种全新的氢分离膜，价格低廉、制备方法简单，通过调整沉积温度、沉积功率、沉积偏压等工艺参数，可以进一步提高其高温渗氢性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 碳化 薄膜 用于 分离 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于李新中，未经李新中许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011017037.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
