[发明专利]一种具有温度补偿功能的光纤磁场微纳传感器及制作方法

摘要

本申请公开了一种具有温度补偿功能的光纤磁场微纳传感器及制作方法，光纤磁场微纳传感器包括依次连接的光纤接入段、干涉模块与光纤导出段；干涉模块由内至外依次设有空气空腔、波导层、传感相与空气隔绝层，传感相包括同层设置的温度传感相与磁场传感相，温度传感相用于感应温度变化从而产生相应的光折射率变化，磁场传感相用于感应磁场变化从而产生相应的光折射率变化；光纤接入段连接有宽带光源；光纤导出段连接有光谱仪。通过上述技术方案实现了对温度和磁场进行同时测量，又提高了传感器的抗电磁干扰、灵敏度、电绝缘性与耐腐蚀性，也便于传感器的微型化，有利于复用和组网。