[发明专利]高压延伸漏极MOS(EDMOS)纳米线晶体管在审
申请号: | 202011017940.3 | 申请日: | 2020-09-24 |
公开(公告)号: | CN112993026A | 公开(公告)日: | 2021-06-18 |
发明(设计)人: | N·尼迪;R·拉马斯瓦迈;W·M·哈费茨;H-Y·张;张婷;B·法拉哈扎德;T·特里韦迪;金晸東 | 申请(专利权)人: | 英特尔公司 |
主分类号: | H01L29/775 | 分类号: | H01L29/775;H01L21/335;B82Y10/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 付曼;姜冰 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本申请题为“高压延伸漏极MOS(EDMOS)纳米线晶体管”。本文中所公开的实施例包括半导体装置和形成这样的装置的方法。在实施例中,半导体装置包括衬底、衬底上方的源极区、衬底上方的漏极区以及从源极区延伸到漏极区的半导体本体。在实施例中,半导体本体具有:具有第一传导率类型的第一区;和具有第二传导率类型的第二区。在实施例中,半导体装置还包括半导体本体的第一区上方的栅极结构,其中,栅极结构更靠近源极区而不是漏极区。 | ||
搜索关键词: | 高压 延伸 mos edmos 纳米 晶体管 | ||
【主权项】:
暂无信息
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