[发明专利]采用可控气体保护高真空动密封的方法与装置有效

专利信息
申请号: 202011021673.7 申请日: 2020-09-25
公开(公告)号: CN112145697B 公开(公告)日: 2022-11-15
发明(设计)人: 沈军;邓胜涛 申请(专利权)人: 深圳大学
主分类号: F16J15/40 分类号: F16J15/40
代理公司: 北京市诚辉律师事务所 11430 代理人: 朱伟军
地址: 518060 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明属于高真空设备动密封技术领域,具体涉及一种采用可控气体保护高真空动密封的方法与装置。本发明提出一种采用可控气体保护高真空动密封的装置,包括控压保护装置;所述控压保护装置包括弹性件和气体压力控制装置;所述弹性件内设有腔室;所述压力控制器与弹性件的腔室相连通;所述气体压力控制装置通过对腔室补充气体或排出气体来控制弹性件的腔室的压力。本发明一种采用可控气体保护高真空动密封的方法与装置,用以解决因高真空动密封的细微泄露导致真空腔室内氧含量升高的问题,避免了高真空设备在熔炼、铸造等工艺环节中因动密封泄露问题导致氧的引入进而影响材料性能的问题。
搜索关键词: 采用 可控 气体 保护 真空 密封 方法 装置
【主权项】:
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