[发明专利]一种双相结构复合薄膜及其制备方法和应用在审
申请号: | 202011021837.6 | 申请日: | 2020-09-25 |
公开(公告)号: | CN112176297A | 公开(公告)日: | 2021-01-05 |
发明(设计)人: | 张侃;潘靖婕;汪佳;文懋;郑伟涛 | 申请(专利权)人: | 吉林大学 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/06;C23C14/50;C10M169/04;C10N30/06 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 马小星 |
地址: | 130000 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: |
本发明提供了一种双相结构复合薄膜及其制备方法和应用,属于固体润滑技术领域。本发明提供的双相结构复合薄膜,按原子数量比计,组成上包括Mo 16.9~25.5%,S 23.4~28.0%,Ti 15.0~18.9%和B 31.4~40.7%;结构上包括非晶基质和镶嵌在所述非晶基质中的硬质相,所述硬质相为TiB |
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搜索关键词: | 一种 结构 复合 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
暂无信息
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