[发明专利]悬臂梁热电堆及其制备方法有效
| 申请号： | 202011022527.6 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN112133818B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 戴鑫;丁雪峰;毛海央 | 申请（专利权）人： | 江苏创芯海微科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L35/32 | 分类号： | H01L35/32;H01L35/34;H01L27/16 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 韩凤 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新吴区菱*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种悬臂梁热电堆及其制备方法。其包括热电堆单体，所述热电堆单体包括衬底以及红外敏感体结构；红外敏感体结构包括器件支撑层、热绝缘层、吸收层以及包裹于热绝缘层与吸收层内的热偶，所述热偶包括若干交替排布的N型热电材料体以及P型热电材料体，所述N型热电材料体与P型热电材料体通过热电材料连接体依次串接；在所述衬底内的上部设置衬底腔，所述衬底腔从衬底的正面向所述衬底的背面方向延伸；位于所述衬底腔正上方的热偶形成热电堆热端区，位于所述衬底腔外的热偶形成热电堆冷端区。本发明结构紧凑，采用悬臂梁结构，降低热导，提高了热电堆的性能，制备工艺与现有IC工艺兼容，降低工艺复杂度以及制备成本，安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 悬臂梁 热电 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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