[发明专利]会聚离子束装置在审
| 申请号： | 202011022906.5 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN112563099A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 望月稔宏;石井晴幸;上本敦 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/20;H01J37/304 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 崔成哲;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供会聚离子束装置。在实际照射会聚离子束之前，至少能够掌握射束以怎样的朝向照射固定试样的试样台。会聚离子束装置具有：会聚离子束镜筒(20)，其用于对试样(200)照射会聚离子束(20A)；试样台(51)，其载置试样；以及试样载台，其载置试样台，至少能够沿水平方向和高度方向移动，其中，会聚离子束装置(100)还具有：存储部(6M)，其预先存储试样台和会聚离子束的照射轴线的三维数据，三维数据与试样载台的载台坐标相关联；显示部(7)；以及显示控制部(6A)，其根据试样台和会聚离子束的照射轴线的三维数据，使显示部显示使试样载台进行动作而使试样台移动到规定的位置时的虚拟的试样台(51v)和会聚离子束的照射轴线(20Av)的位置关系。 | ||
| 搜索关键词： | 会聚 离子束 装置 | ||
【主权项】：
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