[发明专利]一种片上集成基于硅基波导的TM0-TM3模序数转换器有效
| 申请号： | 202011022928.1 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN112180508B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 徐银;朱晨曦;倪屹 | 申请（专利权）人： | 江南大学 |
| 主分类号： | G02B6/14 | 分类号： | G02B6/14 |
| 代理公司： | 南京禹为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32272 | 代理人： | 刘小莉 |
| 地址： | 214122 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种片上集成基于硅基波导的TM0‑TM3模序数转换器，其包括单质Si材质的下包层以及氧化硅材质的衬底层和硅基波导层还有将所述硅基波导层包裹起来的氯化硅材质的上包层；其通过在硅基波导层上刻蚀六组具有相同刻蚀深度但尺寸不同的矩形刻蚀槽达到了插入损耗低，模阶数转换效率高以及便于制造，尺寸缩小等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 基于 基波 tm0 tm3 序数 转换器 | ||
【主权项】：
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