[发明专利]一种光电焦平面的衬底温度测量方法有效
申请号: | 202011023205.3 | 申请日: | 2020-09-25 |
公开(公告)号: | CN112146785B | 公开(公告)日: | 2022-08-19 |
发明(设计)人: | 李磊;韦良忠;陈黎明;郭培苗 | 申请(专利权)人: | 无锡艾立德智能科技有限公司 |
主分类号: | G01K13/00 | 分类号: | G01K13/00;G01J5/90 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 田凌涛 |
地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种光电焦平面的衬底温度测量方法,用于针对矩形的光电焦平面的衬底进行温度测量,通过在光电焦平面的衬底的四个顶角处分别设置一个片上温度传感器,各片上温度传感器实时采集衬底温度,通过对衬底进行行列划分,进而获取多个像元,根据各片上温度传感器采集的温度值和与各像元对应的行列坐标,获取各像元的温度值;本发明提供的方法,能够精确测量衬底中各行各列的像元温度,适用于对光电焦平面的衬底的相关参数进行逐点校正,达到提高输出图像的质量的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 光电 平面 衬底 温度 测量方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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