[发明专利]浸没冷却散热结构、散热器、散热系统及其制作方法

摘要

本发明公开了一种浸没冷却散热结构、散热器、散热系统及其制作方法。所述浸没冷却散热结构包括沸腾换热单元，所述沸腾换热单元包括相背对设置的第一面和第二面，所述第一面分布有由多个相对凸起部和/或多个相对凹下部组成的微结构，所述第一面至少用以与电绝缘性的浸没冷却介质接触，所述第二面为光滑面并用以与发热元件贴合，或者所述第二面与发热元件一体设置。本发明提供的浸没冷却散热结构具有更高的换热面积、更多的成核位点、更强的毛细补液能力，沸腾换热性能卓越，传热系数以及临界热流密度高、核态沸腾起始点过热度低，在小空间高热流散热应用场景极具优势，同时制造工艺相对灵活而且可控，成本低廉，可工业化规模应用、市场竞争力强。