[发明专利]一种柔性电容式压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202011026068.9 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN112504518A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 胡炜薇;侯丽娟 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/12;H01L41/08;H01L41/113;H01L41/22 |
| 代理公司： | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人： | 陆永强 |
| 地址： | 310018*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性电容式压力传感器及其制备方法，包括以下步骤：S10，选择传感器材料；S20，制备柔性基底；S30，对电极层或者介电层进行结构化处理，包括对上电极层的表面加入棱锥体微结构；S40，制备上下电极层；S50，将电极导线穿入电极薄膜中；S60，将制备的上电极层和下电极层交叉贴合放置，使二者上设置的电极阵列相互垂直，上电极层和下电极层之间设置介电层，在80摄氏度烘箱中放置2小时进行固化，取下即制得的三明治结构的柔性电容式压力传感器。本发明能够有效提升压力传感器的测压灵敏度性能，制备工艺简单，灵敏度较高，响应时间短。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 电容 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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