[发明专利]中心自聚焦圆环阵探头在审
| 申请号： | 202011026306.6 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN112179992A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 蔡庆生;邓宇;陈奇礼;王黎 | 申请（专利权）人： | 广州多浦乐电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/24 | 分类号： | G01N29/24;G01N29/26 |
| 代理公司： | 重庆航图知识产权代理事务所(普通合伙) 50247 | 代理人： | 胡小龙 |
| 地址： | 510000 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种中心自聚焦圆环阵探头，包括：中心晶片，用于实现工件表层的单元点自聚焦扫查；环形晶片，通过电子聚焦实现工件深度方向上的聚焦扫查；所述环形晶片套装设置在所述中心晶片外并与所述中心晶片同轴；所述环形晶片设为至少两个，所有的所述环形晶片的外径与内径之差相等。本发明的中心自聚焦圆环阵探头，通过设置中心晶片，利用中心晶片实现工件表层的自聚焦扫查，以覆盖工件近表面的检测要求；通过设置环形晶片，利用电子聚焦，可实现工件深度方向上的聚焦扫查，以满足工件深度较深的区域的检测要求；即本发明的中心自聚焦圆环阵探头，可满足全深度高效高分辨力水浸自动化扫查的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 中心 自聚焦 圆环 探头 | ||
【主权项】：
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