[发明专利]一种晶圆去静电和清洗方法有效
| 申请号： | 202011026941.4 | 申请日： | 2020-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN112235926B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 钱诚;李刚;童建 | 申请（专利权）人： | 江苏亚电科技有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/06 | 分类号： | H05F3/06;B08B3/02;B08B3/04;B08B3/08;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 225300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种晶圆去静电和清洗方法，通过静电消除器发射正负离子风以去除位于清洗槽内的晶圆上的静电，通过晶圆盒支撑架摆动带动晶圆摆动，使晶圆的间隙能够以不同角度接收静电消除器喷出的正负离子风，使得更多的正负离子风能够进入晶圆间隙并能到达更接近晶圆底部的问题，从而提高了对整个晶圆的去静电效果。实现了在清洗槽内进行去静电的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆去 静电 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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